半导体产业被誉为现代工业的“心脏”,装备制造则是这颗心脏的“起搏器”。在我市,成立四年多的江苏先进全成科技有限公司,依托自主研发的核心装备,在芯片制造领域加速发展。
走进江苏先进全成科技有限公司智能生产车间,多台大型设备正在组装调试。这类设备是芯片制造不可或缺的装备,可为晶圆快速加温、镀上金属薄膜,相当于芯片生产的“精密手术台”。
据该公司工程技术人员介绍,半导体厂无论是逻辑或者是存储,最重要的器件就是栅极,而栅极最重要的工艺就是氧化膜。先进全成科技的RTP机台可以生产氧化膜,目前已经供货长鑫、中兴、福建晋华等客户,实现量产。
江苏先进全成科技有限公司成立于2022年3月,产品主要分为两大类:一类是先进制程快速热处理设备,可提升芯片稳定性、延长芯片使用寿命;一类是先进封装2.5D/3D工艺设备,能够拓展芯片功能、提升运行速度。两类产品广泛应用于先进存储、先进逻辑、HBM和Chiplet等关键领域。
据了解,先进全成科技的产品,在颗粒度、工艺均匀性、工艺质量、加热功率等指标上均大幅超出客户要求。在产出率方面,甚至超过国外第一梯队供应商,工艺达到国际厂商同等水平。目前,公司核心设备已通过头部存储企业国产化验证,拿到批量复购订单,实现稳定量产;新一代氧化设备已完成定型,正面向头部企业下一代工艺开展验证。
该公司董事长朱汪龙说:“未来几年,设备需求将带动零部件配套需求。当初选择落户泰兴,就是希望依托自身产品,吸引一批半导体零部件配套企业来泰兴集聚,携手做大做强半导体产业。”


