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半导体“陶瓷心”,泰兴“智造”!

发布日期:2025-09-05 09:14 信息来源:泰兴市融媒体中心 访问次数:

江苏集萃半导体陶瓷材料研究所是泰兴高新区引进的新型研发平台,由清华大学潘伟教授团队领衔组建。平台仅用7.5亩土地,就构建起从粉体研发到精密加工的全产业链技术体系,为半导体装备打造中国自主生产的精密陶瓷部件,装上“中国心”。

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在集萃半导体陶瓷材料研究所的陶瓷超精密加工室,技术人员正专注加工陶瓷静电卡盘。该产品是半导体制造设备中的关键零部件,以往长期被国外企业垄断。研究所不仅积极自主研发,还参与国家相关重大科技项目,目前已成功突破多项关键技术。

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研究所总投资1.1亿元,由省产研院、泰州市产研院、清华大学潘伟教授团队及泰兴高新区共同投资建设,聚焦先进陶瓷技术的研发与产业化应用。核心团队依托清华大学新型陶瓷和精细工艺国家重点实验室,在“先进结构陶瓷材料研究”和“精密陶瓷部件制备技术”方面处于国内领先水平,已为国内厂商实现部分精密先进陶瓷部件的进口替代。

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未来,研究所将充分发挥技术研发与成果转化优势,持续引进高层次人才,力争每年申报发明专利5项以上,引进和孵化科技项目不少于4项,致力于成为新型陶瓷领域技术研发及产品开发领域的创新策源地,为我国半导体产业高质量发展提供坚实支撑。

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